采用世界领先的量子阱失序(Quantum well intermixing, QWI)设计技术,自主设计基于GaAs和InP的量子阱结构,制备单模激光器、DBR激光器、高频锁模激光器。 设计独特的渐变波导、宽波导或非对称波导结构,改善激光器的特性,降低量子阱激光器的阈值电流密度、增大光学限制因子,提高光束特性和端面光功率密度。设计合理的限制层进一步降低注入到有源区的一部分载流子通过扩散和漂移的方式越过限制层和波导层界面进入限制层形成的漏电流。量子阱和波导限制层结构的匹配设计,有效提高光电转换效率,降低内损耗,减小热耗。
半导体激光器端面附近引入非注入区,可减少端面处的非辐射复合的发生。开发非泵浦窗设计和制备技术,降低端面非辐射复合的发生,提高激光器腔面的COD阈值。在硬件设施、技术实力和技术团队方面均具有独特的优势。拥有一整套处于国际领先技术水平的工艺平台,自主开发晶圆的高对准精度技术,无应力刻蚀技术,超低欧姆接触电阻技术,在线检测技术,精细化的工艺技术,实现芯片制备的高重复性和稳定性,降低半导体激光器在生产过程中造成的机械损伤,提高半导体激光器的成品率,降低半导体激光器的生产成本。
高质量的外延生长技术,采用高性能商用MOCVD设备,通过自主开发新的外延生长技术,精准控制外延层厚度、组分及掺杂水平,严格控制材料缺陷,制备符合设计的高质量GaAs和InP体系外延材料。生产的外延片产品表面外观优良,缺陷密度低,拥有高内量子效率和光电转换效率,同时拥有优良可靠性和寿命属性。通过PL、X-ray、ECV、SIMS等分析技术对外延材料的光学性能、均匀性、界面整洁性、掺杂分布、结构精确性以及缺陷密度等关键参数进行测试与表征,分析材料的腔内损耗和内量子效率,指导高质量材料生长。
采用世界领先的量子阱失序(Quantum well intermixing, QWI)设计技术,自主设计基于GaAs和InP的量子阱结构,制备单模激光器、DBR激光器、高频锁模激光器。
设计独特的渐变波导、宽波导或非对称波导结构,改善激光器的特性,降低量子阱激光器的阈值电流密度、增大光学限制因子,提高光束特性和端面光功率密度。设计合理的限制层进一步降低注入到有源区的一部分载流子通过扩散和漂移的方式越过限制层和波导层界面进入限制层形成的漏电流。量子阱和波导限制层结构的匹配设计,有效提高光电转换效率,降低内损耗,减小热耗。